KEITHLEY我司4200-SCS型半导体特征分析系统

keithley我司4200-SCS的I-V特性测量：

keithley我司4200-SCS系统实现I-V测量功能的核心单元是SMU (源测量单元) ;

SMU集4种功能于- -体:电压源、电压表、电流源、电流表;

可以向器件提供驱动电压同时测量电流，也可以向器件提供电流并测量电压;

图形化的KITE软件可以轻松地设定测试条件，设定电压或电流，被测点数，保护电压或电流值，完成各种I-V参数测试;

SM的数量与被测器件的端口数有关，原则上有几个端口，就要配几个SMU。

一般来说，keithley我司4200-SCS系统的最基本的组成部分就是I-V部分，I-V测 试是最基本，最核心的测试内容，C-V测试，乃至脉冲I-V的测试都是其扩展部分，根据用户的经费情况和研究的器件类型。来对这个系统进行配置。

我司4200-SCS型半导体特征分析系统主要特点及优点：

●直观的、点击式Windows操作环境

●独特的远端前置放大器，将SMU的分辨率扩展至0.1fA

●用于高级半导体测试的新型脉冲与脉冲式I-V功能

●集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡

●内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储

●独特的浏览器风格的软件界面，根据器件的类型来安排测试，可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能

●内置了Stress/Measure，循环和数据分析功能，通过鼠标点击方式就可进行可靠性测试，包括5个JEDEC规范的样品测试

●支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设备

●硬件由keithley交互式测试环境（KITE）来控制，用户测试模块功能，可用于外接仪表控制与测试平台集成，是KITE功能的扩充

●包括驱动软件，支持CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300，Micromanipulator 的8860自动和手动探针台

●支持先进的半导体模型参数提取，包 括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso

keithley我司4200-SCS型半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。keithley我司4200-SCS提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机，WindowsNT操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果。

KEITHLEY我司4200-SCS 相关应用：

●半导体器件

●片上参数测试

●晶圆级可靠性

●封装器件的特性分析

●使用Model4200-SCS控制外部LCR表进行C-V、I-V特性分析

●高K栅电荷俘获

●易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试

●电荷泵方法分析MOSFET器件的界面态密度

●电阻式或电容式MEMS驱动特性分析

●光电器件

●半导体激光二极管DC/CW特性分析

●收发模块DC/CW特性分析

●PIN和APD特性分析

●科技开发

·碳纳米管特性分析

●材料研究

●电化学